突破關鍵技術、實現集成電路制造裝備的自主可控，是調整我國經濟發(fā)展方式、保障信息安全的重要支撐。8月24日，作為中國電科布局“電科裝備”和“電科能源”品牌領域的扛旗單位，中電科電子裝備集團有限公司（簡稱公司）正式發(fā)布了“SEMICORE爍科”系列品牌，打造爍科裝備，鑄就國芯基石。
出席此次發(fā)布儀式的包括國家國防科工委、亦莊經濟技術開發(fā)區(qū)、工信部、國務院國資委、軍委裝備發(fā)展部、國家科技部重大專項小組、北京科委、國家集成電路產業(yè)大基金、中芯北方、核工業(yè)集團、信息產業(yè)電子技術研究院、中國科學院沈陽自動化所、半導體行業(yè)協(xié)會、光伏行業(yè)協(xié)會、電子裝備工業(yè)協(xié)會、北方華創(chuàng)、協(xié)鑫、微電子所、北方集成電路創(chuàng)新中心等多家企事業(yè)單位人員參與。
集成電路芯片及其制造技術是信息時代的基石，是保障國家安全和國防建設的戰(zhàn)略性資源。面向國家戰(zhàn)略需求，在中國電科“1+8”品牌體系建設的部署下，公司形成了中國電科“電科裝備—裝備制造”領域和“電科能源”領域第一個民品品牌，“爍科 SEMICORE ”應運而生。
中電科集團對爍科品牌的建設高度重視，中國電子科技集團公司黨組書記、董事長熊群力特別為爍科題詞：爍科裝備，國芯基石。
大興區(qū)委副書記、副區(qū)長、北京經濟技術開發(fā)區(qū)工委副書記、管理委員會主任梁勝表示，電科集團作為電子工業(yè)的長子，一直以來在我國電子工業(yè)發(fā)展過程中發(fā)揮了突出貢獻，包括離子注入機、光伏設備、平坦化工藝設備、LED等方面都始終保持國內領先地位。同時他也強調在國家重大科技專項02專項方面，電科集團開創(chuàng)了材料切割設備、光刻機、平坦化CMP、離子注入機等，得到了包括中芯國際在內的多家公司認證。
公司董事長、黨委書記劉濟東介紹說，“爍”，有熾熱、錘煉之意，象征著公司能吃苦、講奉獻、肯堅守的“十年磨一劍”裝備精神；“爍”又有光彩閃耀之意，蘊含著將爍科品牌打造成國家裝備領域“大國重器”的決心與信心。“科”，既代表著中國電科的身份；又有科技之意，喻示公司將承載勇于創(chuàng)新、以科技追求卓越的精神。同時英文名稱“SEMICORE”則代表公司要牢牢把握核心技術這個關鍵，立志成為半導體裝備產業(yè)核心企業(yè)的責任擔當。
重要嘉賓合影留念
在統(tǒng)一品牌的基礎上，公司形成了“爍科裝備 SEMICORE-EQ （裝備制造）”、“爍科紅太陽 SEMICORE-RS（光伏能源）”、“爍科國際 SEMICORE-INT（國際業(yè)務）”三大品牌，旨在展現公司在國家電子工藝裝備研發(fā)、制造及服務領域的技術能力和行業(yè)地位。
揭牌儀式
電科裝備總經理、黨委副書記王斌則表示，電科裝備肩負著中國電科1+8品牌體系建設的戰(zhàn)略使命，將按照集團公司的“一五三三”，踐行“一二三三”發(fā)展戰(zhàn)略。。后續(xù)，爍科電子裝備有限公司將以國資委“雙百行動”為契機，充分利用國家和中國電科相關改革政策，先行先試，大膽探索，實施股權多元化，開展骨干員工股權激勵，引入外部戰(zhàn)略投資者，建立符合半導體裝備發(fā)展規(guī)律的現代企業(yè)管理體制；同時實施科技創(chuàng)新與產業(yè)投資“雙輪驅動”，搭建裝備研發(fā)與工藝驗證平臺，持續(xù)聚集行業(yè)領軍人才、海內外優(yōu)秀人才，不斷突破集成電路裝備核心技術，推動離子注入機、CMP等裝備進入生產線批量應用，實現進口替代、自主可控，具備國際競爭能力。
中國電科黨組成員、副總經理、總會計師李守武則表示，中國電科裝備是以振興國家電子制造裝備為契機進行的整合，扛起了自主可控大旗，打造出了自主可控創(chuàng)新性企業(yè)，五年間牢記大國重器使命，承擔起自主可控和智能制造項目。為了落實企業(yè)轉型，牢記一流企業(yè)打造一流品牌，一流品牌成就一流企業(yè)的目標，利用總集團的品牌優(yōu)勢，努力將“爍科”打造為國際一流品牌，依照2025戰(zhàn)略和集成電路產業(yè)推進綱要需求，積極踐行中國電科自主可控行動計劃和智能制造行動計劃，大力發(fā)展集成電路制造裝備產業(yè)。
中芯北方集成電路制造（北京）有限公司張昕介紹道，中芯國際自2000年成立以來，在自主道路上摸索了18年，初步打造了國家戰(zhàn)略發(fā)展需要的集成電路產業(yè)生態(tài)環(huán)境。集成電路芯片發(fā)展離不開核心裝備發(fā)展。在集成電路裝備領域中芯國際與中國電科一直以來進行了深厚的合作，2004年開始兩家公司就開始開展技術交流，借助02專項支持，2010中芯國際與中國電科開始推動中束流離子注入機項目，中國電科中束流離子注入機成為集成電路領域首先量產1萬、10萬以及100萬片的國產裝備。2015年中芯國際又與中國電科推動高束流離子注入機項目，目前中高束離子注入機累計流片已達300萬片，實現了55nm以上工藝全覆蓋，并將工藝延伸至28nm。除此之外，2017年中國電科開發(fā)出國內首臺自主知識產權的200mm CMP設備，進入中芯國際大眾產線進行產線驗證，成功填補了市場空白。“今天爍科品牌發(fā)布及爍科電子裝備有限公司成立，順應了集成電路發(fā)展潮流，為核心裝備國產化注入強勁力量，這也標志著進入新層次新階段。未來國產化道路還很漫長，我們要攜手并進，抓住機遇，通過創(chuàng)新掌握核心和自主可控的技術。”張昕說道。
隨著品牌的發(fā)布，爍科電子裝備有限公司也正式成立。
未來，公司將以“爍科”系列品牌發(fā)布為契機，進一步突出核心主業(yè)，充分調動各方積極性參與改革，發(fā)揮整體合力，提升知識、技術、管理、資本的效率和效益，爭當國家集成電路裝備領域的排頭兵，切實履行好“大國重器”的責任。
